고진공 저항 스위치 본체

GN 시리즈

진공 챔버와 같은 진공 환경에서 문제가 될 수 있는 가스 방출을 일으키지 않는 터치 스위치.

GN 시리즈는 가스 방출이 없는 부품만을 사용하여 제조되었으며, 최대 10⁻⁵ Pa(파스칼 압력 대)의 고진공 환경에서 사용할 수 있습니다. 철저한 오염 제어를 위해 클린룸에서 제조됩니다.
반도체 생산 라인을 비롯한 다양한 분야에 적용될 수 있습니다.

  • 일본에서 제조됨
  • 장기 판매
  • 고객 감소
  • 초소형
  • 고진공 저항성 /
    연료 부족
  • 내열 사양

왜 우리를 선택해야 할까요?

고진공 등급에 적합한 저가스 방출 터치 스위치

고진공 등급에 적합한 저가스 방출 터치 스위치

이 제품은 가스 방출을 발생시키지 않는 구성 요소로만 만들어졌으며, 최대 10⁻⁵Pa의 고진공 환경에서 사용할 수 있습니다.
이 제품은 여러 주요 반도체 장비 제조업체에서 진공 증착 및 스퍼터링 장비의 웨이퍼 및 마스크 위치 조정에 적용되어 왔습니다.
- 최고 온도 120℃
– 그리스나 오일을 전혀 사용하지 않습니다.

진공 환경에서 사용 가능한 저비용 센서

진공 환경에서 사용 가능한 저비용 센서

진공 환경에 적합한 광섬유 센서와 변위 센서는 증폭기 및 커넥터를 포함하여 대 2,000달러가 넘습니다.
GN 시리즈는 가격이 저렴하여 비용 절감에 도움이 됩니다.

다양한 운영 조건에 맞는 폭넓은 제품 라인업

다양한 운영 조건에 맞는 폭넓은 제품 라인업

직선 접촉식, 직각 방향 케이블식, 볼 접촉 타입 등 다양한 제품군이 제공되어 여러 적용 조건을 충족할 수 있습니다.

운영 환경에 맞춘 재질 맞춤 제작

운영 환경에 맞춘 재질 맞춤 제작

각 고객의 진공 청소 환경은 모두 다릅니다.
센서 본체와 케이블 재질은 사용 환경에 맞게 맞춤 제작할 수 있습니다.
이 이미지는 인청동의 사양을 보여줍니다.

오염 방지 대책

오염 방지 대책

GN 시리즈는 엄격한 오염 방지를 위해 일반 생산 라인과 분리된 전용 클린룸에서 제조됩니다.

다음과 같은 사용자 지정 옵션은 용도에 따라 제공됩니다.

다음과 같은 사용자 지정 옵션은 용도에 따라 제공됩니다.

– 케이블 길이

사용 환경에 따라 접촉 프로브, 케이스, 케이블 등의 부품 재질을 맞춤 제작할 수 있습니다.

진공 상태에서 가스를 방출하지 않는 "위치 제어 스위치"란 무엇입니까?

제품 라인

각도 터치 측정(볼 터치 타입)에 적용 가능

PN 측정신호 출력 반복정밀도 밖의 스트로크 IP 코드 /보호 구조 주도의 가격 다운로드
GN-BP161B GN-BP161B B:NC 10μm 엠16×1 2.9mm IP40 없이 구매하세요
AutomationDirect
GN-BP5MA GN-BP5MA A:아니요 10μm M5×0.5 0.8mm IP40 없이 구매하세요
AutomationDirect
GN-BP5MA-R GN-BP5MA-R A:아니요 10μm M5×0.5 0.8mm IP40 없이 구매하세요
AutomationDirect

정면 터치 적용용

PN 측정신호 출력 반복정밀도 밖의 스트로크 IP 코드 /보호 구조 주도의 가격 다운로드
GN-CSK141B GN-CSK141B B:NC 10μm M14×0.5 5mm IP40 없이 구매하세요
AutomationDirect
GN-PT5M3A GN-PT5M3A A:아니요 3μm M5×0.5 1.5mm IP40 없이 VONA에서 구매하세요 구매하세요
AutomationDirect
GN-PT5M3A-R GN-PT5M3A-R A:아니요 3μm M5×0.5 1.5mm IP40 없이 VONA에서 구매하세요
GN-PT5M3B GN-PT5M3B B:NC 3μm M5×0.5 1.5mm IP40 없이 VONA에서 구매하세요 구매하세요
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GN-PT5M3B-R GN-PT5M3B-R B:NC 3μm M5×0.5 1.5mm IP40 없이 VONA에서 구매하세요

주요 사양

반복정밀도 3μm / 10μm (범위)
접촉력 0.5E - 1.5E
외경 5~16mm
전체 길이 18~47mm
물체를 만지는 방법 정면 터치 / 각도 터치 / 슬라이딩 터치
스트로크 1.0mm - 5mm
보호 구조 IP40
동작 온도 범위 0 - 120℃
스위치 본체 구조 접점형
측정신호 출력 A : 아니오 / B : 아니오
프리트래블 0 - 0.3mm
응차 0
평생 접촉 3백만
접촉 재료 A(NO):PEEK / B(NC):SUS HRC45
케이스 재질 SUS304
케이블 PTFE 코어 와이어 케이블 0.5m(×2), 내유성, 직경 0.66mm, 인장 강도 15N, AWG27 상당
온도 드리프트 0 (앰프가 없기 때문에)
진동 10~55Hz, 총 진폭 1.5 (X, Y, Z 방향 각각)
충격 X, Y, Z 방향 각각 300㎨
접점 정격 DC 5V - DC 24V, 정상 전류: 10mA 이하 (돌입 전류: 20mA 이하)
표준 부속품 고정 너트 2개
대응 진공도 10 - 5Pa
허용 가능한 베이킹 온도 120 ℃
메모: 분당 10mm 미만의 작동 속도는 권장하지 않습니다.

용도에 대하여: (예시)

태양광(PV) 진공 장비

태양광(PV) 진공 장비

태양광(PV) 진공 장비
유리 기판 위치 지정

FPD용 진공 증착 시스템

FPD용 진공 증착 시스템

마스크 트레이 착석 감지

진공 챔버

진공 챔버

반도체 웨이퍼 존재/부재 감지

FPD용 진공 증착 시스템

FPD용 진공 증착 시스템

유리 기판 정렬

FPD용 진공 증착 시스템

FPD용 진공 증착 시스템

운송업체

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