고진공 환경에서 광센서의 오탐지 문제를 해결했습니다.

고객 문제

"광전 센서"는 진공 챔버 내 유리 기판의 존재를 감지하는 데 사용되었지만, 증발 과정에서 관찰창이 흐려져 오탐지가 발생하는 문제가 있었습니다.
게다가 또 다른 문제가 있었습니다. 바로 관측창 자체가 값비싼 가공품이라는 점입니다.

고객은 주요 센서 제조업체들과 상담하고 고성능 광센서를 사용해 보았지만, 이를 사용해도 오탐지를 방지할 수 없었습니다.

금형 기술 관련 "진공 전시회"에서 저희 부스를 방문하신 고객께서 저희 스위치에 관심을 갖고 연락을 주셨습니다.

메트롤의 제안

기존의 "광전 센서"는 방출된 빛의 반사를 통해 공작물을 감지하기 때문에 안개, 물방울, 확산 반사 등과 같은 외부 환경 조건에 영향을 받아 오탐지가 자주 발생합니다.

대부분의 엔지니어들은 "센서는 진공 환경에서는 쓸모가 없다"고 생각합니다.

메트롤의 "고진공 등급 호환 스위치"는 전기 기판 없이 저가스 방출 호환 부품만으로 제조된 기계식 정밀 위치 지정 스위치입니다.
이 스위치는 최대 10^-5 Pa의 고진공 등급과 호환되며 고진공 환경에서도 유리 기판을 안전하게 감지할 수 있습니다.

당사는 스위치 접촉력을 0.5N 이하로, 팁 재질을 특수 수지로 맞춤 제작하여 민감한 유리 기판에 흠집이 생길 위험을 방지합니다.

메트로 담당자의 의견

광전 센서나 광섬유 센서와 같은 광 센서의 신호 지점이 눈에 보이지 않기 때문에 설치 조정에 이틀 이상이 걸렸습니다.
메트롤의 접점식 "정밀 위치 지정 스위치"는 신호 지점이 보이므로 설계 시 CAD에서 설치 위치를 지정할 수 있습니다.

반도체 산업에서는 스퍼터링 장치, 유기 EL 증착 장치, 에칭 장치, 웨이퍼 캐리어 등과 같은 진공 장치 내에서의 위치 선정에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.

진공 환경에서 위치 설정이나 존재 감지에 문제가 발생하면 언제든지 Metrol에 문의하십시오.

평가를 위해 샘플을 준비해 주시는 연락을 기다리겠습니다.

본 응용 분야에 사용된 제품에 대한 자세한 정보는 다음을 참조하십시오.