±0.5μm의 반복 정밀도로 위치를 조정하면 웨이퍼 손상을 방지할 수 있습니다.

고객 문제

서보 모터는 진공 흡입을 이용하여 웨이퍼를 스테이지에서 제거할 때 진공 흡입 지그를 제어합니다.
하지만 그들은 지그의 무게로 인해 웨이퍼가 손상되는 문제에 직면했습니다.

이 장치는 웨이퍼와 스테이지를 고정하는 왁스를 녹여 200°C 이상의 고온 환경을 조성합니다.

그들은 흡착식 고정 장치의 위치 조정을 위해 광전 센서를 사용하는 것을 고려했지만, 주변 환경의 높은 온도 때문에 필요한 정밀도를 얻을 수 없었습니다.
웨이퍼는 가벼운 부하에서도 손상되었기 때문에 ±1μm의 반복 정확도로 위치를 조정하는 것이 필수적이었습니다.

그는 고정밀 센서를 찾던 중 "포지셔닝 엑스포 2015"에서 저희 부스를 방문하여 메트롤 제품을 알게 되었습니다.

메트롤의 제안

광전 센서 및 레이저 센서와 같은 광학 센서는 외부 환경의 영향을 쉽게 받으며 고온 환경에서 마이크론 수준의 정밀 위치 제어에 적합하지 않습니다.

메트롤의 "에어마이크로 센서 시리즈"는 ±0.5µm의 반복 정밀도를 보여주는 비접촉식 센서입니다.
구동부에 노즐을 부착하고 온도의 영향을 받지 않는 위치에 에어마이크로 센서 시리즈 설치하십시오.
흡입 지그와 구동부 사이의 간격을 공기압 변화를 통해 감지함으로써 200°C의 고온 환경에서도 ±0.5μm의 반복 정밀도로 정확한 위치 지정이 가능합니다.

진공 흡입 지그를 정확하게 위치시키면 웨이퍼 파손을 방지할 수 있습니다.

메트로 담당자의 의견

진공 증착 장치나 스퍼터링 장치를 사용하는 현장에서 "고온 환경에서도 작동하는 고정밀 센서가 필요합니다!"라는 요청을 자주 받습니다. 이러한 요청은 반도체 산업에만 국한되지 않고 다양한 산업 분야에서 이루어지고 있습니다.

본 논문에서 소개하는 "에어마이크로 센서 시리즈"는 200°C의 고온 환경에서도 높은 정확도를 나타냅니다.
고온에서도 정확하게 접합 상태를 감지할 수 있으며, 프레스 금형의 10μm 틈새 감지 및 금형 정렬 감지 등 다양한 분야에서 다수의 검증된 실적을 보유하고 있습니다.

검출기의 공기 노즐을 열면 개조가 가능합니다.
고온 환경에서 "위치 설정"이나 "간격 감지"에 문제가 발생하면 언제든지 저희에게 연락해 주십시오.

본 응용 분야에 사용된 제품에 대한 자세한 정보는 다음을 참조하십시오.