스테퍼 모터 구동 단계의 정밀 위치 지정을 구현합니다.

고객 문제

"서보 모터"는 장비 구동부의 위치를 마이크론 단위로 정밀하게 조정하는 데 사용되어 왔다.
하지만 너무 비싸요.

총비용을 줄이기 위해 "스테퍼 모터"를 사용했지만, 정지 위치 피드백 기능이 없어 스테이지를 정확하게 제어할 수 없었습니다.
슬라이드 테이블의 위치 조정을 위해서는 스테퍼 모터의 정확도가 중요하므로 외부 입력 방식의 고정밀 위치 센서가 필요합니다.

메트롤의 제안

스테퍼 모터는 구동 시 원점이 벗어나기 때문에 구동 부품을 높은 정밀도로 제어할 수 없어 적합하지 않습니다.

메트로의 "고정밀 결정 스위치 본체"는 접점 타입 기계식 스위치임에도 불구하고,
독창적인 접촉 구조 덕분에 0.5µm의 반복 정밀도가 가능합니다.

스테이지 구동부의 원점을 마이크론 단위의 정밀도로 점검함으로써 슬라이드 테이블의 고정밀 위치 제어가 가능합니다.
당사의 정밀 위치 결정 스위치를 사용하면 저가형 스테퍼 모터도 서보 모터만큼 정밀한 위치 결정이 가능합니다.

메트로 담당자의 의견

이 경우처럼, 해당 스위치는 "반도체 검사 테이블의 열팽창 보정"이나 "드릴링 머신 스테이지 위치 조정"과 같은 정밀 XY 위치 조정에 널리 사용되고 있습니다.

무대 위치 설정에 어려움이 있으시면 언제든지 저희에게 연락주세요.

본 응용 분야에 사용된 제품에 대한 자세한 정보는 다음을 참조하십시오.